2023年苏锡常首台(套)重大装备拟认命名单出炉,共有70个装备入选,苏锡常首台(套)重大装备是指苏州、无锡、常州三市企业通过研发立异,在品种、规格或手艺参数等方面有重大突破,具有自主知识产权的国际或海内首台(套)高端装备和要害部件,整机性能或焦点手艺指标抵达海内领先或国际同类装备先进水平。
苏州30个装备上榜(苏州位列第一),苏州市30个,无锡市20个,常州市20个。苏州、无锡、常州三市将在认定的苏锡常首台(套)重大装备中择优推荐申报江苏省首台(套)重大装备。
苏州详细名单如下:
喜报
昆山高新区
苏州智程半导体科技股份有限公司
全自动单式洗濯机(ZCWB-A3)
乐成入选
苏州智程半导体科技股份有限公司是一家专业研发、生产、销售半导体洗濯装备的国家专精特新“小巨人”企业,产品险些笼罩半导体行业所有湿制程工艺,主导产品全自动化合物半平体槽式洗濯机的海内市场占有率排名第一。公司先后肩负江苏省重点研发妄想、苏州市工业前瞻与共性手艺等多个重点项目,并建有江苏省企业工程手艺研究中心、苏州市企业手艺中心、苏州市工业设计中心等研发平台。公司曾荣获江苏省瞪羚企业、苏州市效劳型制造树模企业、知识产权生长型企业、知识产权标杆企业等声誉称呼。
此次上榜装备全自动单式洗濯机(ZCWB-A3)针对大尺寸薄片晶圆全自动洗濯,处置惩罚能力为8英寸晶圆最小厚度150μm、12英寸晶圆最小厚度200μm,洗濯效率高。公司自主开发的翘曲晶圆吸附手艺、精准定位手艺、伯努利非接触式抓取手艺工艺先进、产能大,填补了海内薄片晶圆8英寸和12英寸全自动洗濯装备的空缺,处于海内领先职位。
阻止现在,全区拥有
省首台(套)重大装备21家
占全市比重40%
苏锡常首台(套)重大装备4家
占全市比重45%
均位列全市第一
智程半导体在各项装备评选中,多次入选,见证了智程的实力。智程在研发的蹊径上任重且长,永一直歇,将加大立异研发投入和装备研发,打造具有焦点知识产权的高端装备工程。