随着摩尔定律走向极限,半导体行业逐渐转向超摩尔领域(More-than-Moore,MtM)的全新生长阶段,这不但推动了MEMS、功率器件、射频器件、图像传感器、光电子、先进封装等新兴应用的高速增添,也为新质料、新工艺带来了新的生长空间。纵观半导体制造的要害一环——沉积镀膜,原子层沉积(ALD)手艺依附高致密、无针孔特征以及无与伦比的3D保形性和膜层厚度能力等优势,正在超摩尔领域一起高歌猛进,施展不可替换的作用。
面临“挑战与机缘并存”的目今工业时势,思锐智能一方面起劲增强焦点手艺研发的投入与结构,补强外地工业链的"海内大循环",同时一连对接国际资源,全力打造相助共赢的"国际大循环",双管齐下、双轨并行,最终实现“海内国际双循环”的全球化新生态。
2021年5月,思锐智能与国家智能传感器立异中心签署战略相助协议,面向超摩尔领域开展MEMS、图像传感器等要害应用的团结研发。同年,思锐智能交付Transform系列量产型ALD装备,资助中国市场的第三代半导体龙头客户加速扩充GaN产线。最近,思锐智能完成数亿元A轮融资,即将加大投资结构,推进外地化供应链生长,周全筹开国产化装备产线。
不久前的2022 SEMI中国半导体供应链国际论坛暨SEMI中国会员日上,思锐智能副总司理陈祥龙在演讲中体现:“从手艺层面讲,思锐智能在超摩尔领域的ALD全球竞争中已经拥有一定的优势,在全球规模也有具备影响力的参考客户。‘超摩尔’领域是中国半导体走向全球的一个很好的突破口,思锐智能不但是一家装备供应商,我们更希望携手客户团结研发、提升产品价值,同时买通工业链上下游,加速工业化落地,周全建设越发完善的工业生态。”
现阶段,超摩尔应用所涉及的新质料、新工艺等具有特点鲜明的前瞻性以及研发属性,进一步磨练装备供应商与客户开展团结研发的能力。思锐智能恒久携手CEA-LETI、IMEC、VTT/Micronova等国际权威研究机构建设深度相助,一直探索ALD手艺在微观层面的立异应用潜力,始终坚持在沉积装备市场的工业前线。在SEMICON Europa 2022的同期Tech Day运动上,CEA-LETI向业界分享了接纳SRII旗下Beneq量产型ALD装备举行GaN器件研究的现实案例,引发了普遍的热议。
一直以来,思锐智能重点关注并起劲生长超摩尔应用市场,一步一个脚印、一直牢靠自身优势。在功率化合物半导体及先进封装领域,思锐智能的ALD装备已进入欧洲、北美、日本和中国大陆及台湾地区着名厂商,并实现重复订单;在集成电路领域,思锐智能也通过新质料和新工艺的立异形成了突破,装备已进入产线验证阶段。驻足“海内国际双循环”相互增进的生长名堂,思锐智能将一连深耕超摩尔领域,致力成为ALD解决计划的领先效劳供应商。